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　　多晶硅、單晶硅生產廢水在電子半導體工業生產過程產生的廢水。多晶硅生產和研磨過程中產生的廢水水量較大、傳統方法處理后出水的有毒有害金屬離子、氟等不能穩定達標，對水資源環境造成的污染日益嚴重，同時由于我國水資源時空分布極不均勻，隨著城市用水量的逐漸增大，水資源短缺越來越嚴重，如處理后水直接排放，浪費了寶貴的水資源.水回用勢在必行，水回用具有極高的社會效益和環境效益，它一方面可以減少環境排污量，減少環境污染。未回收利用的氯硅烷低沸物和氯化氫、提純分離塔的不凝氣體、還原爐開停爐置換尾氣、各系統檢修時的置換尾氣等工藝廢氣經尾氣淋洗塔淋洗處理產生的酸性廢水，其水量與工藝廢氣的排放量、氯硅烷和氯化氫的濃度有直接關系。為確保處理后的廢氣達標排放，工藝廢氣的排放量或其中的氯硅烷、氯化氫濃度越大，產生的廢水量越大。這部分廢水是多晶硅生產廢水的主要組成部分，一般占多晶硅生產廢水總量的90%以上，其主要污染物為鹽酸和氯硅烷水解產生的Si02等，經人工或機械刮撈后的酸性廢水沿地溝或管道排入廢水站調節池。
 

　　多晶硅生產廢水處理簡介

　　1、藥劑配制

　　(1)石(shi)(shi)灰乳(ru)的(de)配(pei)(pei)(pei)制(zhi)。石(shi)(shi)灰乳(ru)攪拌槽(cao)注(zhu)入一定容積的(de)回用水，緩(huan)慢加入ca(OH)2含量(liang)大(da)于70%的(de)200目石(shi)(shi)灰粉并不斷攪拌，配(pei)(pei)(pei)制(zhi)成20%的(de)石(shi)(shi)灰乳(ru)溶液。兩組石(shi)(shi)灰乳(ru)攪拌槽(cao)，一套配(pei)(pei)(pei)制(zhi)一套使用，相互交替(ti)運行。

　　(2)PAC溶(rong)(rong)液(ye)(ye)(ye)的(de)配制(zhi)。A120，含量>30%、鹽基(ji)度(du)>80%的(de)PAC按(an)比例緩慢投加(jia)到用回用水(shui)定容的(de)PAC溶(rong)(rong)解(jie)配置攪(jiao)拌槽(cao)中(zhong)，不斷攪(jiao)拌配制(zhi)成5%的(de)PAc溶(rong)(rong)液(ye)(ye)(ye)，打開放液(ye)(ye)(ye)閥，使(shi)配制(zhi)好的(de)PAc溶(rong)(rong)液(ye)(ye)(ye)進入溶(rong)(rong)液(ye)(ye)(ye)槽(cao)中(zhong)供處(chu)理系統使(shi)用，兩組溶(rong)(rong)液(ye)(ye)(ye)槽(cao)一組配制(zhi)一組使(shi)用。

　　(3)PAM溶(rong)液(ye)(ye)的(de)配(pei)(pei)制(zhi)。向(xiang)PAM配(pei)(pei)制(zhi)攪拌(ban)(ban)槽(cao)注入一(yi)定(ding)量回用水，啟動攪拌(ban)(ban)機，人工緩緩向(xiang)槽(cao)內(nei)投加(jia)分(fen)子量>l 200萬(wan)的(de)陽離子高效絮凝劑(ji)PAM，充分(fen)攪拌(ban)(ban)使其溶(rong)解配(pei)(pei)制(zhi)成5%o的(de)PAM溶(rong)液(ye)(ye)，打開放液(ye)(ye)閥，分(fen)別向(xiang)兩個溶(rong)液(ye)(ye)槽(cao)注入一(yi)定(ding)量的(de)5%oPAM溶(rong)液(ye)(ye)，啟動溶(rong)液(ye)(ye)槽(cao)攪拌(ban)(ban)機，向(xiang)溶(rong)液(ye)(ye)槽(cao)內(nei)加(jia)回用水并充分(fen)攪拌(ban)(ban)完全溶(rong)解配(pei)(pei)制(zhi)成0.5‰的(de)藥(yao)液(ye)(ye)，兩組PAM溶(rong)液(ye)(ye)槽(cao)，一(yi)組使用一(yi)組配(pei)(pei)制(zhi)，交替運行。在藥(yao)劑(ji)的(de)配(pei)(pei)制(zhi)和使用過程中，為避(bi)免(mian)藥(yao)液(ye)(ye)沉淀或結膠，要保(bao)持(chi)攪拌(ban)(ban)機連續(xu)運行。

　　2、中和

　　酸(suan)(suan)性廢(fei)水由提升泵輸送至中(zhong)(zhong)和(he)槽(cao)與石(shi)灰(hui)乳(ru)發生中(zhong)(zhong)和(he)反應(ying)，由于反應(ying)需要(yao)一定的(de)時(shi)(shi)間，控制不好易造成(cheng)出(chu)水pH不能滿足(zu)工(gong)藝要(yao)求。為(wei)保證處理(li)系統連(lian)續穩(wen)定運行，本工(gong)藝采用(yong)兩級中(zhong)(zhong)和(he)槽(cao)串聯進行中(zhong)(zhong)和(he)反應(ying)，即酸(suan)(suan)性廢(fei)水自一級中(zhong)(zhong)和(he)槽(cao)下部進入(ru)，通(tong)過上部溢流沿管(guan)道自二級中(zhong)(zhong)和(he)槽(cao)下部進入(ru)，廢(fei)水在(zai)中(zhong)(zhong)和(he)槽(cao)升流過程中(zhong)(zhong)與通(tong)人中(zhong)(zhong)和(he)槽(cao)中(zhong)(zhong)下部的(de)石(shi)灰(hui)乳(ru)混合，在(zai)攪拌(ban)作用(yong)下快速(su)反應(ying)。通(tong)過調整(zheng)兩級中(zhong)(zhong)和(he)槽(cao)的(de)石(shi)灰(hui)乳(ru)投加(jia)量，同時(shi)(shi)控制兩級中(zhong)(zhong)和(he)槽(cao)的(de)攪拌(ban)速(su)率，使一級中(zhong)(zhong)和(he)槽(cao)出(chu)水pH達到(dao)4—5，二級中(zhong)(zhong)和(he)槽(cao)出(chu)水pH達到(dao)7—8。

　　3、混合

　　混(hun)合(he)的實質(zhi)是(shi)混(hun)凝荊水(shui)解(jie)產物在水(shui)中的擴散(san)問題，使(shi)水(shui)中膠體(ti)顆(ke)粒同(tong)時脫穩(wen)產生凝聚，為取得好的絮凝效(xiao)果創造條(tiao)件，也(ye)是(shi)節省(sheng)投藥量的關鍵。本工藝采用(yong)(yong)管(guan)式微(wei)渦管(guan)道混(hun)合(he)器作為混(hun)合(he)設備，且PAc溶(rong)(rong)液在輸送泵前加入(ru)，PAM溶(rong)(rong)液在輸送泵后加入(ru)，利(li)用(yong)(yong)湍流微(wei)渦旋和離心慣(guan)性效(xiao)應，實現(xian)了(le)PAC、PAM水(shui)解(jie)產物在廢(fei)(fei)水(shui)中的充分(fen)擴散(san)，使(shi)廢(fei)(fei)水(shui)中形成(cheng)的膠體(ti)顆(ke)粒得到了(le)更好的脫穩(wen)。加藥量是(shi)根據絮凝沉淀系(xi)統出水(shui)水(shui)質(zhi)進行(xing)調整的，一(yi)般控制每立方米廢(fei)(fei)水(shui)投加5%PAC藥液6一(yi)10 L，投加0.5‰

　　4、絮凝沉淀

　　本(ben)工藝采用(yong)了(le)集成式廢(fei)水(shui)凈(jing)(jing)化器(qi)，將直流混凝、微絮凝、重力沉降、離(li)心(xin)分離(li)、動(dong)態(tai)過濾(lv)、污泥(ni)濃縮(suo)等處理技術有機地(di)結合集成在一套(tao)設備(bei)中。充分地(di)利用(yong)混合液在凈(jing)(jing)化器(qi)內慣性效應和(he)湍流剪切力，使廢(fei)水(shui)沿切線方向(xiang)高速進入凈(jing)(jing)化器(qi)后(hou)在凈(jing)(jing)化器(qi)內部的(de)(de)(de)特殊結構下(xia)(xia)通過壓縮(suo)雙(shuang)電(dian)層、吸(xi)附(fu)電(dian)中和(he)、吸(xi)附(fu)架(jia)橋、沉淀和(he)網捕(bu)等作用(yong)，快(kuai)速形成密實的(de)(de)(de)礬花和(he)較大(da)的(de)(de)(de)絮體，在霞力和(he)離(li)心(xin)力作用(yong)下(xia)(xia)，密實的(de)(de)(de)礬花和(he)較大(da)的(de)(de)(de)絮體顆粒滑到錐形污泥(ni)濃縮(suo)區濃縮(suo)，廢(fei)水(shui)沿罐壁(bi)向(xiang)下(xia)(xia)懸流到一定程度(du)后(hou)向(xiang)中心(xin)靠攏(long)，形成向(xiang)上的(de)(de)(de)懸流繼續上升進入動(dong)態(tai)過濾(lv)區深處理，過濾(lv)后(hou)的(de)(de)(de)合格(ge)廢(fei)水(shui)自清水(shui)管(guan)道進入回用(yong)池回用(yong)或外排。

　　5、污泥處理

　　根據集成式廢水凈化器監控取樣情況合理安排排泥周期，將集成式污水(shui)處理設備污泥(ni)(ni)濃縮區的污泥(ni)(ni)排到(dao)污泥(ni)(ni)水箱(xiang)，開(kai)啟污泥(ni)(ni)輸(shu)送(song)(song)泵和板(ban)框(kuang)(kuang)壓(ya)濾(lv)(lv)機(ji)處(chu)理污泥(ni)(ni)，噩濾(lv)(lv)水返回(hui)中間水箱(xiang)再(zai)處(chu)理，當板(ban)框(kuang)(kuang)壓(ya)濾(lv)(lv)機(ji)不再(zai)進(jin)水時，停止污泥(ni)(ni)輸(shu)送(song)(song)泵或將污泥(ni)(ni)導入另一臺板(ban)框(kuang)(kuang)壓(ya)濾(lv)(lv)機(ji)，按板(ban)框(kuang)(kuang)壓(ya)濾(lv)(lv)機(ji)操(cao)作程序自動卸渣，濾(lv)(lv)渣經皮帶輸(shu)送(song)(song)機(ji)輸(shu)送(song)(song)到(dao)渣場(chang)，定期(qi)外運(yun)處(chu)置。

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